Explanation
研究表面晶体结构的一种分析技术。电子衍射研究表明，为了分析表面层的二维晶体结构，要求电子束满足：①波长足够短，足以分清单个原子；②与物质有强烈的相互作用，其逸出深度为几个原子层。低能(50-500eV)电子束最能满足上述要求。以低能电子束作为表层结构分析的微探针从晶体物质表面所产生的电子衍射称为低能电子衍射。主要设备是由真空分析室、电子枪和采用后加速技术的电子衍射记录装置等组成。与其他衍射技术比较，具有以下特点：①能产生介于二维和三维之间的衍射花样；②能研究任何晶态材料，结果很容易与质谱数据比较；③分析的最小选区尺寸为lpm。因此，低能电子衍射技术是获得表面原子结构排列信息的主要分析方法，主要用于研究界面化学反应。此外在气相沉积表面生成、氧化膜生长、表面扩散、气体吸附和催化过程等方面也得到广泛应用。
Classification
材料科学基础 -> 材料的分析测试技术