由半导体材料形成的薄膜。通常将禁带宽度小于2eV的材料称为半导体。随着禁带宽度不同在室温下其电导率不同。由于热激发(或者光激发.电激发等)满带中的电子进入导带,这样在满带中出现空穴,在导带中出现电子,空穴和电子都是电荷载流子。当存在杂质时,在禁带中出现杂质能级,杂质原子能给出电子的,其能级为施主能级,该半导体为n型半导体。杂质原子能接受电子的,其能级为受主能级,该半导体为P型半导体a半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料,特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高,元件的尺寸越来越小?半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。?随着制备半导体薄膜的技术不同,在结构上吋分为单晶、多晶和无定形薄膜。在分子束外延技术中,可以交替外延生长周期排列的超晶格薄膜.成为M子电子器件的基础材料。多晶半导体薄膜是尺寸大小按某种分布的晶粒构成的.这些晶粒的取向是随机分布的。在晶粒内部原子按周期排列.在晶粒边界存在着大量缺陷,这样就形成了多晶半导体膜.具有不同的电学和光学特性。当膜中原子的排列短程有序而长程无序时,称为无定形半导休薄膜。
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