指生长单晶硅用的原料，呈多晶结构，杂质均在十亿分之几（ppb)。根据形态可分为棒状、块状及颗粒状多晶硅；根据用途及纯度可分为电子级直拉硅单晶用、区熔硅单晶用、探测器级、太阳电池级多晶硅。通常采用含硅的高纯气体为源，经高温化学反应或热分解沉积形成多晶硅，主流的制备工艺有：三氯氢硅氢还原法（西门子法）和硅烷法。
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单晶（single crystal）
多晶（polycrystal）
硅单晶（silicon single crystal）
硅烷（silane）
太阳电池（solar cell）
