Explanation
用质谱仪器测量样品受粒子（离子或中性粒子）轰击发射的二次离子质荷比的一种技术。基本原理是由离子源产生的一次离子（常用的有氩、氧、氮、铯、镓等离子）经加速聚焦轰击样品表面，依靠离子的酿射作用，打出正、负二次离子和中性粒子。
Classification
材料科学基础 -> 材料的分析测试技术