在某一材料的单晶衬底上的薄膜从非晶相向晶体相的转变。通常先在某一材料的单晶衬底上沉积非晶薄膜，然后加热衬底至一定温度.使非晶薄膜晶化，衬底则起着籽晶的作用.要使非晶薄膜转换成单晶，需要足够高的晶化温度、衬底表面的质量和洁净度以及晶化条件提出了很髙的要求.如有些情况下需要在超高真空的条件下晶化。通常情况下.固相外延很难获得髙质量的外延层。在硅片的离子注人掺杂中，硅片近表面形成的非晶层可在后续的退火工艺中重结晶为完整的单晶层。
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材料（materials）
单晶（single crystal）
硅片（silicon wafer）
晶化温度（crystallization temperature）
晶体（crystal）
退火（annealing）
相（phase）
转变（transformation）
