简称抗蚀剂，指光照后能改变抗蚀能力的高分子化合物。
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氮化（nitriding）
分辨率（resolution）
高分子（macromolecule）
降解（degradation）
交联（crosslinking）
密度（density）
聚乙烯（polyethylene）
聚乙烯醇（polyvinyl alcohol）
树脂（resin）
显影液（developer）
相（phase）
橡胶（rubber）
