借助空间气相化学反应在衬底表面上沉积间态薄膜的工艺技术。所采用的化学反应类型有势分解、氢还原、金属还原、基片材料还原、氧化、化学输运反应、加水分解、与氨反应、等离子体激发反应、光激发反应。
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材料（materials）
热装（hot charging）
碳化（carbonization）
碳化物（carbide）
相（phase）
