用动能在几十电子伏特以上的荷能粒子轰击试样表面,使试样表面原子获得能量而进入气相的复杂的粒子散射过程。
No classification at present.
二次离子质谱(secondary ion mass spectrometry)
离子镀(ion plating)
离子束溅射(ion beam sputtering)
相(phase)