用低压或常压化学气相沉积（CVD)方法的人工合成金刚石膜。金刚石是碳的同素异构体之一，常见的为立方结构，但也有六方结构。硬度在固体材料中最高。
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半导体材料（semiconductor materials）
材料（materials）
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电阻率（resistivity）
硅片（silicon wafer）
化学气相沉积（chemical vapor deposition）
金刚石（diamond）
同素异构（allotropism）
相（phase）
硬度（hardness）
