晶体中正常的原子被移去后的空阵点，是点缺陷的一种形式。空位形成有两种类型：一类是移位的原子连续不断地迁移，最后定位在表面上，这称为肖特基（Schottky)缺陷：第二类称为弗仑克尔（Frenkel)缺陷，它同时包括填隙原子和空位，因而形成时需要大的能量。这类缺陷通常在金属中并不存在。在非完整晶体内部，晶粒间界，相界面和位错对空位起着源头和陷阱作用，有利于空位的形成与消失。一般通过高温淬火或高能粒子辐射.可使晶体中产生过饱和空位。
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淬火（quenching）
晶体（crystal）
位错（dislocation）
位错对（dislocation pair）
相（phase）
相界（phase boundary）
