又称辉光离子氮化、离子轰击氮化、等离子渗氮。利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用专用的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,炉白抽真空后通入氨气,在高讯电场作用下,产生辉光放电,氨气发生部分分模具放在辉光放电装置的真空容器中,模具作为阴极,容器白壁作为阳极,充以稀薄的含氮气体,如氨和氮混合物,借助高压直流的电场作用,使气体原子成带电离子,以极高速度撞击模具表面,通过能量转换,使模具加热到所需要的温度;同时,离子轰击到模具表面,氮离子被模具表面所吸附,且向金属白部扩散,形成氮化层,达到硬化的目的。
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