在气相沉积镀膜的同时,利用高能离子轰击薄膜沉积表面。对薄膜表面环境产生影响,从而改变沉积薄膜成分、结构的过程。这一薄膜制备手段的优点是:合成的薄膜致密,附着力强,能够在低温下合成,可以合成一些用常规手段难以获得的特殊薄膜材料等,1BAD技术在第二代高温超导涂层导体制备上,有着十分重要的应用。高温超导涂层导体利用1BAD技术制备千米长的外延织构生长的MgO或CeO2缓冲层薄膜。
特种功能材料 -> 超导材料 -> 超导材料制备方法
材料(materials)
涂层导体(coated conductor)
相(phase)
织构(texture)