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Explanation

指一种晶体在另一种晶体表面上生长的方法，生长晶体一般应与衬底晶体间物性、结构晶体学相似。晶体是在结构匹配的界面上生长，称为外延定向生长。根据底晶体材料不同，可分为同质外延和异质外延法两种。根据生长体系状态的不同。外延法又可分为气相外延法、液相外延法、熔融外延法等，常用于薄膜生长。在外延生长中，衬底的选择是至关重要的，除了与被沉积晶体存在晶格叫配外，晶体表征的缺陷数量，衬底表面清洁程度、是否存在机械损伤和粗大的杂质堆积-都会影响外延膜的生长和质量，此外沉积：速宇-和气氛也影响外延膜的质量。该法常用于电子仪器、磁性记忆装置和集成光学等方面的作元件的制作，并日益发挥着重要的作用。