一种光刻制程助剂。用于光刻制程前去除油脂、颗粒等杂物。清洗剂除了要求能快速有效去除杂质之外，还要求避免损伤其下的玻璃基板，清洗剂一般为含表面活性剂的碱性水溶液。表面活性剂通常为平平加等非离子表面活性剂，碱通常为氢氧化钾等无机碱或乙醇胺、四甲基氢氧化铵等有机碱。生产过程主要包括各成分按比例复配、过滤、包装等过程。
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玻璃（glass）
助剂（additive）
