超晶格材料是一种人工周期性材料,它在原自然晶体的晶格结构上叠加了一个人工周期。这个周期结构的势阱区厚度通常小于电子的平均自由程,同时势垒区足够窄,以致相邻势阱中的电子波函数能够互相耦合。这种材料被称为超晶格材料。 超晶格材料可以分为两类: 组分超晶格:这类超晶格是由不同的半导体薄膜材料形成的周期性结构。通常使用"ABABAB..."来表示。其中,字母A代表一种半导体,如GaAs,而字母B代表另一种半导体,如AlGaAs。 掺杂超晶格:这种超晶格由同一种半导体材料组成,但掺杂类型不同的薄膜交替重复构成。例如,可以由n型Si(负载子掺杂)和p型Si(正载子掺杂)以及本征i层Si组成,形成"nipinipi..."的结构。 超晶格材料的制备方法包括分子束外延、有机金属化合物气相外延等。这些方法用于在薄膜材料上生长出所需的周期性结构,以实现超晶格的特定性质和应用。
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