又称氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷。化学式（CH3)3SiCl,室温下为无色液体.是卤代硅烷的一种.在无水情况下稳定，遇水即分解.生成六甲基二硅氧烷和盐酸.由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得，也吋由亲核性甲基试剂如中基锂与四氯化硅发生亲核取代反应制得。在有机合成中有很多用途。
有机高分子材料 -> 有机硅材料、有机氟材料及其他元素有机高分子材料
二硅氧烷（disiloxane）
硅烷（silane）
六甲基二硅氧烷（hexamethyldisiloxane）
氯代三甲基硅烷（chlorotrimethylsilane）
氯化三甲基硅烷（chlorotrimethylsilane）
