又叫硅氯仿。化学式SiHCl3。无色液体。沸点33°C,高度挥发，具辛辣气味，易燃、易爆。主要为制造半导体元件单晶硅的中间体遇水分解成盐酸烟雾，对眼和上呼吸道黏膜有刺激作用，动物长期吸人可致慢性支气管炎，中枢神经系统功能紊乱和生长迟缓。储藏三氯氢硅的容器应注意防热、防爆。
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刺激（irritation）
单晶（single crystal）
