以能量为1~30keV间的电子束作为微束激发源（又称一次束），以光栅状扫描方式照射到被分析试样的表面上，分析入射电子和试样表面物质的相互作用所产生的各种信息从而研究试样表面微区形貌、成分和结晶学性质的技术。主要设备为扫描电镜。
材料科学基础 -> 材料的分析测试技术
分辨率（resolution）
相（phase）
一次束（primary bundle）
荧光（fluorescence）
