衬底材料是指用作基底的材料。在半导体工艺中，衬底材料常用在外延生长中，多为蓝宝石、单晶硅等。在LTPS(低温多晶硅面板）技术中，衬底材料常指用作载体的基板。狭义地讲，衬底材料特指LTPS中的玻璃基板、石英基板以及柔性基板。衬底材料需要满足以下要求：界面特性好、化学稳定性好、热稳定性好、光学性能高、机械加工性好、价格低廉、容易制造大尺寸。
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宝石（gems）
玻璃（glass）
材料（materials）
单晶（single crystal）
多晶（polycrystal）
多晶硅（polycrystalline silicon）
蓝宝石（sapphire）
热稳定性（thermal stability）
石英（quartz）
外延生长（epitaxial growth）
