水平布里渣曼法(Horizontal Bridgman)生长GaAs单晶的简称。它是GaAs单晶的主要品种,占据了GaAs单晶总量的60%到70%。其生长设备相对简单,包括一个带有三个或多个温区的水平炉、机械传动装置以及温度控制系统。在水平布里渣曼法中,高纯度As和盛有Ga的舟密封在石英反应管的两端。通过控制As端的温度(约610°C,此时As的蒸气压为0.1MPa),确保反应管内维持一定的As压力,而在高温区(1245°C至1260°C)中生长GaAs单晶,利用一定的温度梯度。在高温区与低温区之间通常还有一个或多个中间温区,有助于减小系统内的温度梯度并抑制硅(Si)的污染。相对于其他生长方法,水平布里渣曼法的单晶通常具有较低的位错密度,降低了0.5到1个数量级。通过这种方法生长的掺杂Si的水平GaAs的位错密度可以低于10^2 cm?2。在生长过程中,As压易于控制,单晶的化学成分控制性较好。此外,此法容易掺杂Fe、Si、Zn等杂质,适用于生长各种掺杂的GaAs和半绝缘单晶。
能源材料 -> 电池材料 -> 燃料电池
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