在制备好的单晶衬底上，一定的条件下，沿其原来晶体的结晶轴方向，生长一层导电类型、电阻率、厚度都符合要求的单晶层薄膜。
无机非金属材料 -> 无机涂层及薄膜
单晶（single crystal）
电阻率（resistivity）
晶体（crystal）
