是晶体结构中的一种原子或离子离开原来所在的格点位置形成的空位式的点缺陷。每一个空位都是一个独立的肖特基缺陷。在金属中空位运动是重要的扩散机制之一,空位扩散机制的理论计算与实验结果最相近。晶体中位错的攀移也有赖于空位的运动。在离子晶体中单个的阳离子空位或阴离子空位吋与电子或空穴结合而形成色心。半导体中空位对电性质有显著影响。一般来说,随着温度的升高,缺陷的浓度会增大。对于典型的离子晶体碱金属卤化物,肖特基缺陷形成能较低,对于氧化物而言,其离子性显然小于碱金属卤化物,所以它的形成能较高,只有在较高的温度下,它才变得重要。
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