在真空或者在真空下通人低于大气压的特殊气体进行的热处理工艺。主要分真空淬火、真空退火和真空化学热处理三大类。真空淬火是在真空下加热,然后在不同的冷却介质中冷却。真空淬火较广泛应用的是气冷和油冷,气冷多采用惰性气体氩气或者用高纯氮气。真空退火主要用于高温合金、难熔金属及合金的退火。真空化学热处理常用的有真空渗碳、真空碳氮共渗、真空离子渗碳、真空渗铬、真空戤射等。真空热处理的优点是:①可以实现无氧化、无脱碳的光亮热处理,由于真空热处理是在负压下加热,可以达到去除氧化皮和真空除气的目的,热处理后工件表面无需清理;②真空加热主要靠辐射,升温速率缓慢,工件表面和心部温差小,热处理变形小;③在真空条件下加热,溶解在金属中的氧、氢、氮气等可逸出,可使表面层气体元素含量显著降低,从而提高材料性能;④磁性材料真空热处理,可提高磁性的稳定性;⑤真空渗碳速度快、质量良好。真空热处理的主要缺点是设备复杂,价格昂贵,热处理周期对含有易蒸发的合金元素的材料不太适宜。
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