具有导电功能的薄膜.导电薄膜的荷电载流子在输运过程中受到表面和界面的散射,当薄膜的厚度可与电子的自由程相比拟时,在表面和界面的影响将变得显著,这个现象称薄膜的尺寸效应。它等效于载流子的自由程减小,因此与同样材料的块体相比,薄膜的电导率较小。由于制备技术欠完善,通常薄膜中的缺陷浓度比较高。主要缺陷为杂质、空位、填隙原子、位错、晶界,以及表面和界面的吸附和偏析等。这些缺陷都对载流子产生散射或俘获,从而减小了载流子的自由程和寿命.这同样引起薄膜的电导率减小。薄膜形成过程分为四个阶段:成核,生长,连接成迷津和连续成膜。如果在其中任何阶段停下来.则成为不同的结构膜,如在粒子连接之前的薄膜,成为粒子膜。粒子膜的导电,是电子在分离的粒子之间转移。其导电机制是复杂的.有两种主要理论:一是隧穿导电,粒子之间位垒较窄,电子于隧道效应穿过位垒?在粒子间传递:二是热电子发射导电,粒子之间以热发射机制转移电子,在较高温度时起主要作用。也有的薄膜是由粒子与基底之间发生电荷转移,而间接完成粒子膜的导电过程。
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